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微细加工技术
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（日）マイクロ加工技术编集委员会编；赖耿阳译1985 年出版259 页ISBN：
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マイクル·マッコーラム著1990 年出版450 页ISBN：
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マーガレットG.マイヤーズ1979 年出版525 页ISBN：
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