(美)Nicholas A. Solter,(美)Scott J. Kleper著;刘鑫,杨健康等译2006 年出版687 页ISBN:7111177789
(A.埃德内)Andrew Edney,(D.泰勒)David Taylor原著;蒋金蓉等译1999 年出版72 页ISBN:7540420804
(美)格雷戈里 T. A.科瓦奇(Gregory T. A. Kovacs)著;张文栋等译2003 年出版673 页ISBN:7030105656
本书是一部关于微机械系统方面的重要论著和首选技术参考书,全书共分九章,几乎涉及MEMS技术的所有研究领域,畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理,并在此基础上,对典型器件和系,统的设计与工艺进行了详细的介绍。特...