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BARRY R.HOLSTEIN2222 年出版436 页ISBN：0201508206

BARRY G.FIRKIN1984 年出版257 页ISBN：0852007043

Barry G. Wren.1979 年出版454 页ISBN：0702007420

BARRY C.BURDEN2014 年出版362 页ISBN：1107066670

BARRY D.MCPHERSON1983 年出版450 页ISBN：0409848301

（英）哈代（Hardy，T.）著；蓝仁哲译1987 年出版116 页ISBN：7541101028

（瑞典）胡森（Husen，T.）著；张人杰译1991 年出版216 页ISBN：7541504890

（英）T.布莱亨著；赵国举，任世兰译1987 年出版240 页ISBN：

（法）T.布尔贝（T.Bourbei）等著；许云译1994 年出版225 页ISBN：7502110623

分:多孔隙介质、观测速度与衰减的实验技术、波与分界面等6章。

（美）格雷戈里 T. A.科瓦奇（Gregory T. A. Kovacs）著；张文栋等译2003 年出版673 页ISBN：7030105656

本书是一部关于微机械系统方面的重要论著和首选技术参考书，全书共分九章，几乎涉及MEMS技术的所有研究领域，畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理，并在此基础上，对典型器件和系，统的设计与工艺进行了详细的介绍。特...