(美)Kent marsh,(美)Bruce Braunstein著;廖卫东等译1996 年出版648 页ISBN:7302021619
(美)(J.卡萨德)Joe Casad,(美)(B.威尔斯)Bob Willsey著;王建华等译1999 年出版200 页ISBN:7111063627
(美)(C.维克里)Christopher Vickery著;李祥凯等译2000 年出版373 页ISBN:7505344323
(瑞典)(托马斯·安德森)Thomas Andersson等著;黄晶等译1998 年出版149 页ISBN:7302028141
(美)(J.麦卡特)Jim McCarter著;卢凌云等译1999 年出版340 页ISBN:7505354957
(美)MohamedGad-el-Hak编;张海霞等译2009 年出版467 页ISBN:9787111267331
本书主要介绍了MEMS技术应用方面的知识,包括惯性传感器等方面的知识。