(德)W. Menz等著;王春海,于杰等译2003 年出版468 页ISBN:7502546928
本书介绍了微系统技术领域内的相关知识和基本工艺方法,如单品硅生产、光削技术、封装技术等。
杰罗姆 G.格伦(Jerome C.Glenn),西奥多 J.戈登(Theodore J.Gordon)著;王如松等译2002 年出版82 页ISBN:7500561083
(英)安德鲁·薛瓦利埃(Andrew Chevallier)主编;梁立新,江红兵等译2003 年出版334 页ISBN:7806663169