FOUNDATIONS OF MEMS SECOND EDITION
CHANG LIU2011 年出版576 页ISBN:7111358279
本书全面论述了微机电系统(MEMS)的基础知识,涵盖了MEMS技术的主要方面,同时引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文,为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提炼出了四个典型的传感器实例:惯性传感器、压力传...
(美)马克·卡兰(Mark Karlen),吉米·本亚(James Benya)2016 年出版239 页ISBN:7121304576
(澳)(M.道格森)Mark Dodgson,(澳)(R.罗斯韦尔)Roy Rothwell编;陈劲等译2000 年出版515 页ISBN:7302039593
(美)马克·凯·斯科恩菲尔德(Mark K.Schoenfield),(美)瑞克·艾姆·斯科恩菲尔德(Rick M.Schoenfield)著;施宗靖等译1995 年出版319 页ISBN:7208019975