（日）Toshitaka Kanai，（美）Gregory A. Campbell著 王建伟等译2003 年出版413 页ISBN：7502546936
本书介绍了薄膜、生产设备、工艺、影响参数等内容。
（美）罗伯特·法兰克（Robert Frank），（美）菲力普·库克（Philip Cook）著；席玉苹译1998 年出版267 页ISBN：7806179925
（美）J.厄尔贾维克（Jack Erjavec），（美）R.沙尔夫（Robert Scharff）著；叶淑贞等译1999 年出版856 页ISBN：7111067258
