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（美）阿尔桑德拉（Alessandra T.）等著2003 年出版0 页ISBN：

（英）罗格 C.里德（Roger C.Reed）著2016 年出版343 页ISBN：7111542230

ROGER A.BRUMBACK AND JEFFERY GERST1984 年出版354 页ISBN：0879932104

ROGER C.PARK RICHARD D.FRIEDMAN2013 年出版1526 页ISBN：9781609301385

GEOFFREY P.ALPERT ROGER G.DUNHAM1988 年出版194 页ISBN：0881333212

（英）哈代（Hardy，T.）著；蓝仁哲译1987 年出版116 页ISBN：7541101028

（瑞典）胡森（Husen，T.）著；张人杰译1991 年出版216 页ISBN：7541504890

（英）T.布莱亨著；赵国举，任世兰译1987 年出版240 页ISBN：

（法）T.布尔贝（T.Bourbei）等著；许云译1994 年出版225 页ISBN：7502110623

分:多孔隙介质、观测速度与衰减的实验技术、波与分界面等6章。

（美）格雷戈里 T. A.科瓦奇（Gregory T. A. Kovacs）著；张文栋等译2003 年出版673 页ISBN：7030105656

本书是一部关于微机械系统方面的重要论著和首选技术参考书，全书共分九章，几乎涉及MEMS技术的所有研究领域，畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理，并在此基础上，对典型器件和系，统的设计与工艺进行了详细的介绍。特...