微机电系统（MEMS）原理、设计和分析

本书介绍了微机电系统的原理、设计和分析等知识，包括微机电系统的基本概念、常用材料、工作原理、分析和使用方法、加工工艺、表面特征、检测技术、主要应用及COMSOL多物理分析软件微机电模块。