微机电器件设计 制造及计算机辅助设计

本书首先介绍了MEMS的相关基本理论，微机电系统的重要材料和制造工艺。在这些理论的基础上，对设计规则和重要的工程实例都进行了详细描述。然后，结合MEMS（包括加速度测量）的许多工程应用介绍了角速度测量和压力测量。最后，介绍了利用有限元方法来证明设计的正确性。本工程应用仿真包括静态与模态分析、电容分析、热结构分析、疲劳分析等。本书可作为仪器科学与技术、控制科学与工程、机械工程等相关专业及研究方向的本科生、研究生以及相关工程技术人员的参考用书。