传感器原理及其应用

本书在阐述传感器一般特性的基础上，详细叙述了磁敏感元器件与磁传感器领域内的霍尔效应与霍尔元件、磁敏电阻与强磁性金属磁敏电阻的工作原理、磁敏二极管、磁敏三极管、韦根德元件；在阐述弹性元件的力学分析的基础上，详细叙述了力学量敏感元器件与传感器领域内压电效应和压电式传感器和压电式加速度传感器、压阻效应与扩散硅式压阻压力传感器和加速度传感器、电容式传感器以及硅各向异性腐蚀技术等。