真空获得设备 第2版

本书主要内容包括：液环式真空泵；往复式真空泵；旋片式油封机械泵；罗茨式真空泵；涡旋式真空泵；其他类型真空泵等。介绍了真空机结构以及加热与测温装置，真空设备的抽气系统、真空室电和运动的导入结构、溅射镀膜设备的充布气系统、磁控溅射均匀性等方面的设计与计算。本书实用性强，适合真空获得设备的应用等与真空获得设备技术有关的行业从事设计、设备操作与维护的技术人员以及相关专业师生的教材与参考书。