半导体测试技术原理与应用

本书讨论了微区电学参数测试的重要性，综述了当今已研究出来的各种半导体测试方法的特点；详细分析四探针测量技术的基本原理，重点讨论常规直线四探针法、改进范德堡法和改进Ry-inaszewski四探针测试方法；讨论测试技术在材料科学等领域的分析与应用及无接触测量技术。