微电子与光电子集成技术

本书介绍了目前微电子技术与光电子技术的发展，重点介绍了微电子与光电子集成技术中的多种器件及其制备技术，对微光电子集成器件的应用做了简要的介绍。主要内容包括光发射器件、光电探测器件、光波导及光调制器件、光电子集成技术、硅基光电子集成回路、光通信与光互连集成器件等。