微纳制造

纳米技术是当前科学研究与工业开发的热门领域之一。本书全面阐述了微纳器件的设计和制造方面的知识，以及在设计和制造时所要考虑的诸多因素。书中涵盖了多种制造技术，包括微纳制造技术、体和表面微加工技术、LiGA技术、薄膜沉积技术、纳加工技术等。本书内容丰富，讲解透彻，是一本相关领域电子工程师、材料科研工作者开发微纳米材料应用的全面的指南，同时也可作为微纳米机械和微纳米技术专业研究生的参考书。