新型表面形貌测量仪器

本书主要论述了基于微恒力传感器的表面形貌测量系统、激光聚焦伺服式轮廓仪杠杆、大量程杠杆式光学轮廓仪的工作原理、信号处理、误差补偿等，并论述了一种新型的用于表面形貌测量的二维工作台。