真空测量与控制

本书系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括：真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、真空检测的基本原理、各种检测方法、氦质谱检漏仪及其他检漏仪、标准漏洞、真空测量仪器电路、真空设备与系统的自动控制。本书可作为高等学校真空技术及设备、材料科学与工程、物理学等相关专业本科生、研究生的教材，也可供从事真空获得、真空测量和真空应用的工程技术人员参考。