多晶硅和石英玻璃的联合制备法

本书介绍了“多晶硅和石英玻璃联合制备法”的工艺过程、主要设备、操作要点及影响产品质量的因素，提出了降低多晶硅生产成本的几个途径，并总结了相关安全生产的知识。