用于恶劣环境的碳化硅微机电系统

碳化硅MEMS在航空、航天、矿业、石油、地质、汽车等领域都有着不可替代的作用。因为碳化硅圆片制作的复杂性，以及应用碳化硅的器件工艺难度高，而成为尖端领域。目前国外有一些研究机构积累了大量的技术和经验，本书就是国外几个研究机构的专家学者对自己研究的总结，具有很高的学术价值。国内本领域的研究刚刚展开，本书将可以成为非常好的一个研究参考。主要内容包括碳化硅微机电系统（SiCMEMS）介绍，用于碳化硅MEMS的沉积技术，近年来碳化硅的研究相关进展，碳化硅的干法腐蚀，碳化硅MEMS的设计、性能和应用等。