低温多晶薄膜晶体管研究

全国优秀博士学位论文:本书论述了目前TFT研究中存在的难点以及可能的解决途径。随后对多晶锗硅薄膜晶体管和金属诱导横向结晶多晶硅薄膜晶体管进行了深入研究。