半导体材料标准汇编 2014版 方法标准 行标分册

本书分上中下三册，内容包括截止到2014年9月国内出版的半导体材料国家标准、行业标准文本以及SEMI和国外发布的半导体材料标准目录。其中上册为基础、产品和管理标准（65项），中册为国家方法标准（75项），下册为行业方法标准（68项）以及SEMI和国外相关标准目录。