书籍 微电子化学技术基础的封面

微电子化学技术基础

刘玉岭 李薇薇 周建伟编

出版社

北京:化学工业出版社

出版时间

2005

ISBN

7502565485

标注页数

401 页

PDF页数

410 页

书籍介绍
本书介绍了衬底材料、IC工艺等微电子技术的化学原理。
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