微纳传感器及其应用

本书的主要内容是通过深入细致地讲述MEMS（微电机）设计的基础理论和研究方法，结合几种常用的MEMS器件作为研究实例，让学生了解和掌握MEMS器件和系统，从原理设计、工艺设计、系统设计，到加工测试的整个设计过程，以及其中应该关注的主要问题和这些问题的研究、解决方法。同时，培训目前MEMS研究中常用的软件工具，让学生掌握最先进的辅助研究工具，提高设计效率和质量。