反射高能电子衍射在薄膜生长中的表面分析

反射高能电子衍射作为一种新型的表面分析工具，是随着超高真空薄膜制备系统的发展与完善，而应用于薄膜生长中的测试分析中。本书基于表面物理与晶体衍射的原理，重点介绍了反射高能电子衍射的应用手段，包括其基本原理、标定、定量分析、强度振荡以及最新的相关进展。