碳化硅半导体材料与器件

碳化硅属于第三类半导体材料，即宽禁带半导体研究最广泛的材料之一，也是最早被发现的半导体材料，由于其优越的性能，使其能满足高温、大电流、高频及强辐射环境应用。本书系统介绍了碳化硅半导体材料及器件。前两章主要介绍碳化硅半导体材料的特性及同质、异质外延，后五章主要介绍碳化硅半导体器件特性及关键技术，包括碳化硅欧姆接触、碳化硅肖特基二极管、碳化硅功率P-i-N整流器件、碳化硅微波二极管和碳化硅静电感应晶体管。