书籍 微电机结构工艺学的封面

微电机结构工艺学

张子忠编

出版社

哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社

出版时间

1988

ISBN

7560300804

标注页数

291 页

PDF页数

299 页

书籍介绍
本书主要介绍微电机的结构、制造工艺和结构工艺性等问题。
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