压电式微动机构动力学与仿真分析

本书阐述了压电堆栈的工作原理，对PSt1000/16/60VS25型压电堆栈的输出位移和迟滞特性进行了测试分析；研究了直圆型柔性铰链的力学特性，并探究直圆型柔性铰链的设计参数对其转动刚度的影响规律；基于直圆型柔性铰链分别设计压电式一维微动平台、微夹持器和柔性微位移放大机构；研究了S型柔性机构的力学特性，并探究S型柔性机构刚度的设计参数对其刚度的影响规律；基于S型柔性机构设计压电式一维和压电式二维微动平台；分别建立上述微动机构的动力学模型和固有频率模型，利用有限元软件ANSYS对微动机构进行仿真分析。基于压电驱动器设计步进式直线驱动器，并对其进行仿真分析。