薄膜材料科学 第2版

本书详细介绍了薄膜材料科学的各个方面，内容包括真空技术、薄膜沉积技术与原子过程、薄膜的结构与性能表征等。本书内容广泛，资料全面，是一本薄膜材料科学领域的权威之作。