三维集成技术

本书全面系统介绍三维集成技术的发展历史、制造实现技术、设计技术以及电学和力学可靠性等相关问题，以从事相关研究开发工作的需求出发，以三维集成实现技术作为线索，深入介绍三维互连制造技术、三维集成方法、三维集成策略、三维集成的电磁学问题、三维集成的热力学及可靠性，以及三维集成的检测与三维集成应用等内容，既包括实现三维集成的主流技术方法，也包括三维集成领域的最新进展。