半导体工艺与测试实验

半导体工艺和器件测试实验是微电子学相关专业的专业基础课程，具有实践性强，实践与理论紧密结合的特点，对培养有竞争力的高素质微电子科技人才十分必要。本书介绍了与微电子技术有关的半导体工艺和测试方面的实验，包括半导体制备工艺的主要六个单项工艺实验，半导体材料与器件的常规测试实验，半导体工艺和器件特性仿真实验，以及衔接以上各单项实验综合器件设计、工艺制造、特性表征与检测的课题实验。