微机械电子学

传动器件的发展及其在微定位中的应用是一个新的动态的跨学科领域，本书首先对一些固态传动装置进行了理论描述，对实际使用材料、器件的设计、驱动及其控制技术以及一些典型应用进行了介绍和分析，最后讨论了微机械电子学系统在当前及未来的发展趋势。