书籍 微电子机械系统的封面

微电子机械系统

姜岩峰编著

出版社

北京:化学工业出版社

出版时间

2006

ISBN

7502581588

标注页数

194 页

PDF页数

202 页

书籍介绍
本书介绍了微电子机械系统的基础知识、主要工艺和器件结构等。
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