MEMS矢量水听器及其应用

本书系统地论述了MEMS矢量水听器的工作原理、结构设计、器件加工、系统集成及测试等内容，并对MEMS矢量水听器的应用前景进行了简要阐释。本书系统地论述了MEMS矢量水听器的工作原理、结构设计、器件加工、系统集成及测试等内容，并对MEMS矢量水听器的应用前景进行了简要阐释。本书系统地论述了MEMS矢量水听器的工作原理、结构设计、器件加工、系统集成及测试等内容，并对MEMS矢量水听器的应用前景进行了简要阐释。