真空镀膜技术

本书论述了薄膜技术的基础理论，介绍了各种真空镀膜技术原理、真空镀膜工艺及应用特点。全书共分10章，主要内容有：薄膜与表面技术基础理论、真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀膜、真空卷绕镀膜技术、化学气相沉积（CVD）技术、离子注入与离子辅助沉积技术、ITO导电玻璃镀膜工艺、薄膜厚度测量与监控、表面与薄膜分析检测技术。