铜铟铝硒（CIAS）薄膜太阳能电池关键材料 制备和性能

本书主要介绍太阳能电池、铜铟硒（CIS）类太阳能电池及其关键材料。阐述了铜铟铝硒（CIAS）薄膜及CdS、ZnS薄膜的制备和表征方法。研究了不同硒化工艺对CIAS薄膜性能的影响，以及Al相对含量对CIAS薄膜性能的影响，并从成膜一般规律与制备过程探讨了真空蒸发多层膜（VEMF）法与中频孪生非平衡磁控溅射（FTUMS）技术两种方法制备薄膜的成膜过程与机理。研究不同工艺条件对CdS、ZnS薄膜性能的影响，并从化学水浴法（CBD）的成膜原理探讨了CdS和ZnS薄膜的成膜过程。