书籍 微机电系统原理的封面

微机电系统原理

(韩)李基邦(KiBangLee)著 马小军 王国胜 吕强等译

出版社

北京:国防工业出版社

出版时间

2014

ISBN

9787118094329

标注页数

598 页

PDF页数

610 页

书籍介绍
本书通过统一的方法和闭合解析法解决微机电问题中的微机电系统原理。首先对宏观和微观世界的基础无量纲参数进行了量纲分析,同时还介绍了微机电系统相关的精密加工技术。此外本书还介绍了静力平衡状态下静力学/力学和力矩对机械结构的影响、静态结构中的机械原理、适用于微机电系统电气性质的电磁学基本方程以及从制动器到特殊用途的传感器在内的微机电系统构建模块的整合等内容。
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