无驱动结构微机械陀螺及其应用

本书共四篇，第1篇共5章，主要介绍无驱动结构转子型振动陀螺仪的数学模型、精度、性能、运行误差和实验研究。第2篇共6章，主要介绍微电子机械系统的电子材料及其加工处理；MEMS用材料及其制备；标准微电子工艺；硅体的微机械加工；硅的表面微机械加工，MEMS的微立体平版光刻技术。第3篇共5章，主要介绍微机械加速度计与陀螺仪；旋转飞航弹用无驱动结构硅微机械陀螺仪的工作原理；旋转飞航弹用无驱动结构硅微机械陀螺仪的误差、相移、性能实验。第4篇共2章，主要介绍无驱动结构微机械陀螺的信号解调；高速旋转飞航弹姿态传感器的应用。