微纳系统技术与应用

本书除了对微纳系统技术的基础理论和方法的讲述之外，还深入探讨了这一领域内一些热点研究方向的最新科研成果，例如MEMS空间光调制器（MOEMS）、SPR纳米金属离子传感器、光子塞透镜、气体传感器等等，许多研究和成果都是原创性的，并获得了一定积极评价的。