衬底基片超精密加工技术

本书在介绍材料的性能和用途的基础上，分析材料的主要生长技术，重点阐述材料衬底基片的切割、磨削、研磨、抛光等超精密加工工程中的工艺、设备、辅料。介绍LED行业对衬底基片的净化要求、净化工艺、净化设备。分析衬底基片的图形化处理技术对LED性能的影响。详细分析衬底基片的质量检测技术及检测设备。