真空计量新技术

本书反映了我国当今真空计量科学技术的发展水平及国际真空计量的新技术。全书共分9章。第1章介绍了与真空计量相关的基本知识和物理基础。第2章～第5章介绍了真空全压力计量技术。第6章～第9章分别讨论了真空分压力计量技术、真空漏率计量技术、正压漏率计量技术和虚拟仪器在真空计量中的应用技术。并着重介绍了适合空间环境探测用小型磁偏转质谱计的研制、固定流导法校准真空漏孔技术、恒压法校准正压漏孔技术以及虚拟仪器技术在恒压式气体微流量计中的应用。