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王阳元著

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14

出版社

北京:北京大学出版社

出版时间

1998

ISBN

7301038054

标注页数

413 页

PDF页数

430 页

标签

文集

图书目录

第一部分 VLSI/ULSI中多晶硅薄膜的研究 1

第二部分 POLYSIDE和SALICIDE MOS器件结构的研究 39

第三部分 SOI结构器件和电路的研究 83

第四部分 MOS绝缘层物理和器件及互连可靠性的研究 167

第五部分 多晶硅发射极器件及新器件的研究 247

第六部分 发展综述 313

第七部分 战略研究 347

第八部分 科学研究方法论 383

发表著作及论文总目录 397

后记 407

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