第一章 精密和超精密加工技术概述 1
第一节 精密和超精密加工技术的发展与现状 1
第二节 精密和超精密加工技术的作用 3
第三节 精密和超精密加工技术发展趋势 6
结束语 8
思考题 8
第二章 超精密切削加工和金刚石刀具 9
第一节 超精密车削技术与金刚石刀具 9
第二节 单晶金刚石刀具切削有色金属 10
第三节 单点金刚石超精密切削KDP晶体 13
第四节 单晶金刚石刀具超精密切削氟化钙 15
第五节 单点金刚石切削技术在EOS靶制备中的应用 19
第六节 金刚石刀具刃磨技术 22
思考题 24
第三章 精密和超精密磨削加工 25
第一节 概述 25
第二节 普通磨料砂轮精密磨削 32
第三节 超硬磨料砂轮精密磨削 46
第四节 精密和超精密磨削砂轮的选择与修整 49
第五节 超精密磨削加工 53
思考题 59
第四章 精密和超精密加工机床 60
第一节 概述 60
第二节 超精密加工机床现状及典型超精密机床简介 61
第三节 我国超精密加工设备的研发对策与展望 70
第四节 超精密加工机床的关键技术 72
第五节 超精密加工的在线检测 74
第六节 超精密加工的误差补偿 78
第七节 超精密加工的检测设备与仪器 83
思考题 95
第五章 研磨与抛光 96
第一节 研磨加工 96
第二节 抛光加工 104
第三节 研磨抛光新技术 106
第四节 曲面超精密抛光 110
思考题 115
第六章 超精密特种加工技术 116
第一节 概述 116
第二节 激光加工 116
第三节 电子束微细加工 127
第四节 离子束微细加工 133
第五节 微细电火花加工 137
第六节 超声波微细加工 144
第七节 电化学加工 151
第八节 ELID镜面磨削技术 158
第九节 微细磨料流加工 162
第十节 等离子体加工 166
第十一节 基于微机器人的超精密加工技术 168
思考题 170
第七章 超精密加工的影响因素 172
第一节 气源压力波动的影响 172
第二节 环境温、湿度变化和振动的影响 173
第三节 空气的影响 177
第四节 噪声的影响 179
第五节 其他因素的影响 179
思考题 180
第八章 纳米技术 181
第一节 概述 181
第二节 纳米尺度的表征方法 181
第三节 纳米级加工技术和原子操纵 184
思考题 192
参考文献 193