1 绪论 1
1.1 引言 1
1.2 晶硅太阳电池 2
1.3 高效晶硅太阳电池 7
1.4 硅纳米结构 10
1.5 本书选题思路 16
参考文献 17
2 MACE硅基纳微米复合结构制备、表征手段以及软件模拟 23
2.1 MACE方法制备硅基纳微米复合结构 23
2.2 表征手段 29
2.3 软件模拟 40
参考文献 46
3 ALD-Al2O3钝化的单晶硅基纳微米复合结构光电特性及高效太阳电池应用 48
3.1 引言 48
3.2 实验部分和结构表征 50
3.3 减反射性能 52
3.4 场效应钝化和太阳电池应用 54
3.5 本章小结 60
参考文献 61
4 单晶硅基纳微米复合结构背钝化高效太阳电池 65
4.1 引言 65
4.2 器件结构设计 67
4.3 实验制备 68
4.4 短波段光学和电学性能 69
4.5 长波段光学和电学性能 72
4.6 单晶硅基纳微米复合结构太阳电池优异宽光谱响应 75
4.7 本章小结 78
参考文献 78
5 纳米结构绒面硅太阳电池优越光电特性的实现 82
5.1 引言 82
5.2 实验及表征 83
5.3 结果与讨论 84
5.4 选择性发射极太阳电池技术 94
5.5 本章小结 96
参考文献 96
6 多晶硅基纳微米复合结构太阳电池 99
6.1 引言 99
6.2 实验部分 102
6.3 结果与讨论 104
6.4 本章小结 115
参考文献 116
7 总结与展望 119
7.1 总结 119
7.2 未来展望 120