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薄膜过程
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《化学工程手册》编辑委员会1989 年出版253 页ISBN：750250592X
化学工程手册 第18篇 薄膜过程
《化学工程手册》编辑委员会编辑1987 年出版253 页ISBN：
薄膜光学与薄膜技术
王月花编著2009 年出版175 页ISBN：7564605216
薄膜工程学 薄膜工学
白木靖宽，吉田贞史编著2006 年出版342 页ISBN：957215219X
薄膜技术与薄膜材料
田民波，李正操编著2011 年出版532 页ISBN：9787302274834
本书内容包括真空技术基础、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用等4大部分。
田民波编著2006 年出版962 页ISBN：7302132380
本书内容包括真空技术部分、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用、薄膜成分与结构分析5大部分。
薄膜材料与薄膜技术
郑伟涛等编著2004 年出版313 页ISBN：7502549382
本书介绍了薄膜材料与薄膜技术的基本理论与知识，重点对材料的制备方法作了较为详细的阐述。
极薄薄膜及复合薄膜的挤出成型
（德）E. 韦勒等著；陈文瑛，张雅丽译1980 年出版183 页ISBN：15166·065
薄膜光学讲座一薄膜光学的数学物理基础
浙江大学光仪系物光专业镀膜组1973 年出版86 页ISBN：
多元非晶氧化物薄膜及其薄膜晶体管
牛君责任编辑；（中国）岳兰2019 年出版143 页ISBN：
