中华人民共和国国家标准 GB/T16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则=Guidelines for photomask defect classification and size

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2222 年出版0 页ISBN：

产品标准编写规定宣贯辅导教材 GB/T 1-1997标准化工作导则 第1单元 标准的起草与表述规则 第3单元 产品标准编写规定

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