杜中一主编2012 年出版154 页ISBN：9787121153969
本书全面系统地介绍了半导体芯片制造技术，内容包括半导体芯片制造概述、多晶半导体的制备、单晶半导体的制备、晶圆制备、薄膜制备、金属有机物化学气相沉积、光刻与刻蚀、掺杂以及封装。由于目前光电产业的...
林少霖编2011 年出版382 页ISBN：9787811187731
本书收集了有关半导体（集成块）制造方面的技术用语，内容包括了半导体材料、硅氧化、光刻和刻蚀等加工工艺和外观检验、性能检验的基本专业词汇，对研究和开发半导体制造技术、从事半导体（集成电路）制造的人员学习.....
陈光华著2004 年出版377 页ISBN：7311023734
本论文集包括了作者25年来对非晶半导体和薄膜物理方面的研究内容和方法，同时也反映出作者对这个领域的认识过程和研究思路以及取得的成果。...
（美）K.A.杰克逊（Kenneth A.Jackson）主编；屠海令，万群等译校1999 年出版627 页ISBN：703007260X
暂缺《半导体工艺》简介
