杨丁编著2010 年出版244 页ISBN：9787118069747
本书主要讲述表面处理行业金属蚀刻的工艺原理，并通过熟悉这些工艺原理接合产品的要求（功能性要求，装饰性要求或兼而有之）正确设计其工艺加工方法。在工艺设计部分将较为详细地讲述工艺的成本优化，工艺的适用性优...
高端集成电路制造工艺丛书 等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用
张海洋等编著2018 年出版376 页ISBN：9787302489597
系统性回顾了过去半个世纪干法蚀刻技术的演变，深入介绍了该技术的基本机理，在逻辑产品和闪存产品中的具体应用以及对于逻辑电路可靠性影响的系统分析。同时针对特殊气体和特种材料的蚀刻应用进行了展望；最后以...
