堵俊编译2009 年出版226 页ISBN:9787121089312
本书是根据社会发展及教学改革的新形势,基于培养适应社会需求的高素质应用型人才的目的,依托高等工科院校本科电类专业相关课程(电路、模拟电子技术、数字电子技术)的基本实验要求,并参考教学大纲和实验教学大纲...
王蔚,田丽,任明远编著;刘晓为主审2013 年出版356 页ISBN:9787121206801
本书共分5个单元,第一单元,主要介绍单晶硅衬底结构特点,体硅和外延硅片的制造方法;第二单元~第五单元,主要介绍硅芯片制造基本单项工艺(氧化、掺杂、薄膜制备、光刻、工艺集成与封装测试)的原理、方法、设备......