刘静编著2008 年出版274 页ISBN：7030201590
热学微系统技术是热科学与微/纳米技术、电子、机械、生物医学及信息技术等现代自然科学相交叉和融合的结果。这一主题近年来的发展十分迅速，已成为多个学科领域内研究人员极为关注的新生长点。本书围绕作者...
（德）W. Menz等著；王春海，于杰等译2003 年出版468 页ISBN：7502546928
本书介绍了微系统技术领域内的相关知识和基本工艺方法，如单品硅生产、光削技术、封装技术等。
周兆英，王中林，林立伟主编2011 年出版1004 页ISBN：9787302243076
本书表述了关于微系统和纳米技术的科学和工程的研究状况以及成果。
蒋稼欢编著2006 年出版380 页ISBN：7502580549
本书介绍了微阵列芯片在内的微呼型化技术、与生物分子及细胞生物学中研究与流程紧密结合和微流动技术等。
娄文忠，孙运强编著2007 年出版245 页ISBN：7111209176
本书主要介绍了微机电系统与填封装技术，包括微机电系统集成技术基础。
邱碧秀著2006 年出版228 页ISBN：7121030314
本书分为原理介绍、分析测试及应用三部分。在原理介绍部分，重点介绍了电性设计、热管理、材料的选择和制程设计。在分析、测试方面，介绍了产品的各种失效分析、可靠度设计及测试方法。在应用方面，涵盖了不同产...
