微机电系统相关电子书下载

梅涛，伍小平主编2003 年出版198 页ISBN：7502543201

石庚辰编著2002 年出版217 页ISBN：7118025607

（美）Chang Liu著2007 年出版365 页ISBN：7111223330

本书是微电子教材。

章吉良，杨春生等编著1999 年出版156 页ISBN：7313023073

（美）Tai-Ran Hsu主编；姚军译2006 年出版238 页ISBN：730211952X

本书内容包括微机电系统封装的基本技术、材料、工艺及应用。

范伟政，乔大勇编著2011 年出版207 页ISBN：9787561230305

本书共分为六章，分别介绍MEMS发展历程，MEMS理论基础，MEMS基本工艺技术，MEMS设计技术，典型微器件与微系统和微测试技术。

（美）刘昶著2011 年出版576 页ISBN：7111358275

（美）MohamedGad-el-Hak编；张海霞等译2009 年出版467 页ISBN：9787111267331

本书主要介绍了MEMS技术应用方面的知识，包括惯性传感器等方面的知识。

邱成军，曹姗姗，卜丹编著2016 年出版301 页ISBN：7560351094

莫锦秋等编著2004 年出版177 页ISBN：7502552375

本书主要介绍了微机电系统及其相关技术，对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行介绍。